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真空度測(cè)試儀的工作原理

瀏覽次數(shù):1059發(fā)布日期:2021-06-22
測(cè)試原理
  真空開(kāi)關(guān)真空度測(cè)試儀采用磁控放電法進(jìn)行測(cè)量。將真空開(kāi)關(guān)滅弧室的兩觸頭拉開(kāi)一定的距離,施加電場(chǎng)脈沖高壓,將滅弧室置于螺線(xiàn)管圈內(nèi)或?qū)⑿滦碗姶啪€(xiàn)圈置于滅弧室外側(cè),向線(xiàn)圈通以大電流,從而在滅弧室內(nèi)產(chǎn)生與高壓同步的脈沖磁場(chǎng)。這樣,在脈沖強(qiáng)磁場(chǎng)和強(qiáng)電場(chǎng)的作用下,滅弧室中的帶電離子作螺旋運(yùn)動(dòng),并與殘余氣體分子發(fā)生碰撞電離,所產(chǎn)生的離子電流與殘余氣體密度即真空度近似成比例關(guān)系。對(duì)于不同的真空管型號(hào)(管型),由于其結(jié)構(gòu)不同,在同等觸頭開(kāi)距、同等真空度、同等電場(chǎng)與磁場(chǎng)的條件下,離子電流的大小也不相同。通過(guò)實(shí)驗(yàn)可以標(biāo)定出各種管型的真空度與離子電流間的對(duì)應(yīng)關(guān)系曲線(xiàn)。當(dāng)測(cè)知離子電流后,就可以通過(guò)查詢(xún)?cè)摴苄偷碾x子電流一真空度曲線(xiàn)獲得該管型的真空度。
  在常規(guī)磁控放電測(cè)試滅弧室的真空度時(shí),為了提高其測(cè)試靈敏度,需從斷路器上卸下滅弧室,并置于螺線(xiàn)管線(xiàn)管內(nèi)。這樣一來(lái),滅弧室在重新裝回?cái)嗦菲鲿r(shí)需要調(diào)整機(jī)械參數(shù),工作量很大并需專(zhuān)業(yè)人員。而使用新型磁控線(xiàn)圈可以從側(cè)面包圍滅弧室,這樣就不必拆卸滅弧室。而采用單片微機(jī)進(jìn)行同步控制與數(shù)據(jù)采集處理,提高了滅弧室真空度的現(xiàn)場(chǎng)測(cè)試靈敏度。
 
  工作原理
  真空度測(cè)試儀框圖如圖1所示。
 
  整機(jī)由測(cè)量控制電路、電場(chǎng)高壓產(chǎn)生電路、磁場(chǎng)線(xiàn)圈電流控制電路、通訊、打印機(jī)、液晶顯示電路等組成。其工作過(guò)程為:由測(cè)量控制電路發(fā)出指令,由開(kāi)關(guān)電源給磁場(chǎng)電容充電,通過(guò)控制電路監(jiān)控,當(dāng)磁場(chǎng)電容上的電壓達(dá)到預(yù)定值后,控制電路發(fā)出兩路控制信號(hào)分別控制電場(chǎng)高壓的輸出和磁場(chǎng)線(xiàn)圈電流的導(dǎo)通,使滅弧室處于強(qiáng)電場(chǎng)、強(qiáng)磁場(chǎng)的狀態(tài)中,滅弧室開(kāi)始放電,產(chǎn)生離子電流I,如圖2中的曲線(xiàn)I所示。該電流經(jīng)取樣電阻R和預(yù)處理電路后輸入單片機(jī),最后經(jīng)運(yùn)算由液晶顯示屏顯示測(cè)得的真空度值。
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